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      碲化銻 CVD Sb2Te3薄膜

      英文名:
      Cas號(hào):
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      別 名
      Cas號(hào)
      M D L
      分子式
      分子量
      產(chǎn)品參數(shù) Sb2Te3 拓?fù)浣^緣體薄膜。



      材料
      Sb2Te3薄膜
      制造方法
      CVD沉積

      基底 沉積在藍(lán)寶石和云母上,其他基底可以轉(zhuǎn)移
      特性 拓?fù)浣^緣體薄膜,易氧化
      厚度選擇 最薄約5nm,最后50nm左右
      注意事項(xiàng) 易氧化

      參考文獻(xiàn)

      1,Kitamura, Masahito, et al. "Chemical Vapor Deposition GeTe/Sb2Te3 Super-Lattice Phase Change Memory." Int. Conf. Solid State Devices Mater. Fukuoka. 2013.



      2,Sotor, J., et al. "Mode-locked erbium-doped fiber laser based on evanescent field interaction with Sb2Te3 topological insulator." Applied Physics Letters 104.25 (2014): 251112.

      性狀 基底:
      SiO2/Si基底
      石英基底
      藍(lán)寶石基底
      其他基底
      貯存
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