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      進口Al2O3+Si薄膜 
      
        
      

        
      

            
      
                
      
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                            分子式
                            
                        
      
                        
      
                            分子量
                            
                        
      
                        
      
                            產品參數
                            Si晶向：

      

      

      Si摻雜類型：

      

      本征；不摻雜

      

      Si厚度：

      

      0.6 um +/- 0.05 um

      

      Si電阻率：

      

      > 100 ohm.cm

      

      Micro-particle

      

      density (for particles > 2 um)：

      

      < 2/cm^2

      

      Al2O3基片：

      

      R plane with single flat

      

      Al2O3邊取：

      

      One flat 32.5mm +/-2.5mm, at 45+/- 1 deg CCW fromon

      

      Al2O3尺寸：

      

      dia100 x 0.46 mm

      

      TTV:

      

      < 15 um

      

      Bow:

      

      < 20 um

      

      Warp:

      

      < 20 um

      

      Flatness （TIR)

      

      < 12 um

      

      拋光情況：

      

      單拋(正面外延拋光，背面光學級拋光，背面激光有激光標記）

      

      備注：

      

      可按照客戶要求在C plane Al2O3上鍍Si      		
                        
      
                        
      
                            性狀
                            
                        
      
                        
      
                            貯存
                            
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
                
      
                
            
      

        
      

        
      
            
      
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