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ZY CMP拋光液
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項目 SO-80-PF? SO-100-PF? 測試方法 粒度(nm)? 70-90? 90-110? 激光粒度儀 顆粒形貌 球形 球形 SEM /TEM? pH? 10.5±0.5? 10.5±0.5? pH計 粘度(cps) <10 粘度計 包裝規格? 500ml、?25Kg、?200Kg? CMP拋光液是以硅溶膠為原料,針對不同研磨材料的特性進行獨特配方設計,保證拋光過程中PH值基本保持不變,從而保證拋光速率的穩定及節約拋光時間。 |
| 性狀 | 產品特點:
1. 粒徑均一(粒徑分布窄,形貌呈正球狀); 2. 拋光速率快(特殊配方,PH值穩定不變); 3. 高平坦化(表面質量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u);; 4. 循環次數較多; 5. 可低溫拋光 (35℃以下)。 應用范圍: 配合國瑞升拋光墊產品,可廣泛用于多種材料納米級的化學機械拋光。如,藍寶石材料、硅片、不銹鋼、鋁鎂合金、化合物晶體等的拋光加工。 |
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