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ZY CMP拋光液
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| 產(chǎn)品參數(shù) | 產(chǎn)品規(guī)格:
項(xiàng)目 SO-80-PF? SO-100-PF? 測(cè)試方法 粒度(nm)? 70-90? 90-110? 激光粒度儀 顆粒形貌 球形 球形 SEM /TEM? pH? 10.5±0.5? 10.5±0.5? pH計(jì) 粘度(cps) <10 粘度計(jì) 包裝規(guī)格? 500ml、?25Kg、?200Kg? CMP拋光液是以硅溶膠為原料,針對(duì)不同研磨材料的特性進(jìn)行獨(dú)特配方設(shè)計(jì),保證拋光過(guò)程中PH值基本保持不變,從而保證拋光速率的穩(wěn)定及節(jié)約拋光時(shí)間。 |
| 性狀 | 產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 粒徑均一(粒徑分布窄,形貌呈正球狀); 2. 拋光速率快(特殊配方,PH值穩(wěn)定不變); 3. 高平坦化(表面質(zhì)量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u);; 4. 循環(huán)次數(shù)較多; 5. 可低溫拋光 (35℃以下)。 應(yīng)用范圍: 配合國(guó)瑞升拋光墊產(chǎn)品,可廣泛用于多種材料納米級(jí)的化學(xué)機(jī)械拋光。如,藍(lán)寶石材料、硅片、不銹鋼、鋁鎂合金、化合物晶體等的拋光加工。 |
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